Разработана технология соединения функциональных слоев чувствительного элемента микромеханического акселерометра через слой оксида кремния методом низкотемпературного бондинга. Экспериментально доказана эффективность использования плазменной активации поверхности пластин. Определены условия и режимы процесса соединения пластин. Предложены критерии оценки и методика контроля качества соединения слоев.

Каранин Н.С. (науч. рук. Юльметова О.С.) Формирование неразъемных соединений на узлах микромеханического акселерометра // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, [2022]. URL: https://kmu.itmo.ru/digests/article/7789