В рамках работы методом хемостимулированного термооксидирования были синтезированы тонкие пленки на поверхности InP. Был обнаружен газочувствительный отклик (S) в атмосфере CO и NH3 c концентрациями C = 80, 100 и 120 ppm , а также установлены зависимости S(C) и S(T).
Бадашева Д.С. Синтез газочувствительных пленок на поверхности InP методом хемостимулированного термооксидирования // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, [2020]. URL: https://kmu.itmo.ru/digests/article/4650