В работе описывается концепция создания доступной технологии, позволяющей получать светодиоды на основе полупроводниковых нановискерсов. Подробно описаны результаты первого этапа технологии – нанесения паттерна монослоя полистирольных сфер для последующего применения в нанолитографии.
Сумина А.И., Погосян Т.Н., Виноградов А.В. (науч. рук. Виноградов А.В.) ПОЛУЧЕНИЕ ПАТТЕРНА ПОЛИСТИРОЛЬНЫХ СФЕР ДЛЯ ПОСЛЕДУЮЩЕГО ПРИМЕНЕНИЯ В НАНОЛИТОГРАФИИ // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, [2022]. URL: https://kmu.itmo.ru/digests/article/9395