Работа посвящена изучению процесса абляции карбида кремния (SiC) методом комбинированного воздействия наносекундных лазерных импульсов и лазерно-индуцированной углеродной плазмой. По результатам экспериментов получены зависимости параметров абляции, изучена морфология поверхности образца после лазерного воздействия, а также определены параметры плазмы с помощью оптической эмиссионной спектроскопии.
Варламов П.В. (науч. рук. Самохвалов А.А.) Исследование лазерно-плазменной абляции карбида кремния // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, [2021]. URL: https://kmu.itmo.ru/digests/article/7379