Обработка стекла лазерно-индуцированной микроплазмой демонстрирует перспективные применения в создании микрооптических элементов. Однако, в данной технологии существует множество факторов, препятствующих воспроизводимости результатов обработки. В данной работе исследовано влияние воздушного зазора между мишенью и образцом при обработке стекла лазерно-индуцированной микроплазмой, что позволит повысить производительность и разрешающую способность технологии.
Киян А.И. (науч. рук. Сергеев М.М.) Исследование влияния воздушного зазора при обработке стекла лазерно-индуцированной микроплазмой // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, [2021]. URL: https://kmu.itmo.ru/digests/article/5627