Выполнено исследование режимов обработки плавленого кварца сжатой лазерно- индуцированной микроплазмой. Полученные режимы были использованы для изготовления шаблона структуры пригодной для реализации интегрированного интерферометра Майкельсона на плавленом кварце.
Апанасевич А.В. (науч. рук. Сергеев М.М.) Адаптация метода обработки сжатой лазерно-индуцированной микроплазмой для изготовления волноводных структур // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, [2020]. URL: https://kmu.itmo.ru/digests/article/4506