Статья

Калинкина М.Е., Лабковская Р.Я., Пирожникова О.И., Козлов А.С. (науч. рук. Ткалич В.Л.) РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО БАЗИСА ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ
УДК тезиса: 531.383

Предложенный конструкторско-технологический базис позволит повысить выпуск годных ИС с повышенными показателями надежности.

Авторы:

Калинкина Мария Евгеньевна

Лабковская Римма Яновна

Пирожникова Ольга Игоревна

Козлов Алексей Сергеевич

Руководитель:

Ткалич Вера Леонидовна

Калинкина М.Е., Лабковская Р.Я., Пирожникова О.И., Козлов А.С. (науч. рук. Ткалич В.Л.) РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО БАЗИСА ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, [2019]. URL: https://kmu.itmo.ru/digests/article/2344