В работе представлен метод изготовления мягких полимерных калибровочных структур для сканирующей ион-проводящей микроскопии (SICM) на основе этиленвинилацетата. Формирование тестовых объектов осуществлялось методом импринтинга с использованием стандартных кремниевых АСМ-решеток различной геометрии (лунки, борозды, «шахматное» поле). Такой подход позволяет создавать реплики с минимальной высотой элементов до 20 нм, исключая риск механического повреждения хрупких стеклянных нанопипеток при контакте с поверхностью. Предложенный подход расширяет возможности метрологического обеспечения SICM, обеспечивая точность и воспроизводимость измерений топографии без риска поломки зонда-нанопипетки.

Жуков М.В., Банков А.А. (науч. рук. Жуков М.В.) Мягкие полимерные тест-структуры для оценки линейных размеров и пространственного разрешения в сканирующей капиллярной микроскопии // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, [2026]. URL: https://kmu.itmo.ru/digests/article/17150