Технология производства интегральных схем состоит из последовательности технологических операций: выращивания монокристаллического кремния, резка кремния на пластины, формирование рисунка интегральных схем и последующее разделение пластин на отдельные кристаллы. Для обеспечения контроля технологического цикла наносятся технологические метки. Увеличение объемов производства микроэлектронных компонентов требует разработки программного обеспечения, способного автоматизировать процесс распознавания меток в производственных условиях. Работа выполнена в рамках государственного задания №FSFS-2026-0009 "Разработка теоретических принципов и методов автоматизации управления многокомпонентными системами в условиях недетерминированной среды".

Данилин К.Д. (науч. рук. Semenishchev E.A.) Разработка алгоритма идентификации технологических меток на полупроводниковых пластинах // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, [2026]. URL: https://kmu.itmo.ru/digests/article/16998