Настоящий доклад посвящен изучению влияния параметров лазерного излучения на сопротивление тонкопленочных резисторов, изготовленных методом лазерно-индуцированной микроплазмы (ЛИМП). Проведенные исследования позволили выявить характер влияния параметров лазерного излучения на сопротивление тонкопленочных резисторов, сформированных при реализации метода ЛИМП, на гибкой диэлектрической подложке, а также получить карту режимов по изготовлению тонкопленочных резисторов различного сопротивления.

Степанюк Д.С., Никонов Г.О., Чернышов М.А. (науч. рук. Синев Д.А.) Создание тонкопленочных резисторов на полиимиде методом лазерно-индуцированной микроплазмы // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, [2025]. URL: https://kmu.itmo.ru/digests/article/15804