Подобраны оптимальные параметры формы зонда (длина зонда, телесный угол), скорости и силы литографии для сохранения механической устойчивости зондов и создания качественных микро - и наноструктур методом динамической силовой литографии. Изучены случаи появления дефектов при литографии и даны рекомендации по их устранению. Приведены примеры литографии на подложках живой и неживой природы с различными микро- и наноструктурами.

Жуков М.В. (науч. рук. Жуков М.В.) Особенности проведения динамической силовой литографии при создании наноструктур // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, [2025]. URL: https://kmu.itmo.ru/digests/article/14978