В работе проведено исследование влияния изгиба пластины на процесс плазмохимического травления. Привведены результаты изменения изгиба пластины до и после плазмохимического травления. Определены интервал значений изгиба пластины, в пределах которого параметры процесса не изменяются, и интервалы, в пределах которых значения неравномерности травления достигают наименьших значений.

Каранин Н.С. (науч. рук. Юльметова О.С.) ИССЛЕДОВАНИЕ ДЕФОРМАЦИИ ПЛАСТИНЫ ПРИ ГЛУБОКОМ РЕАКТИВНО-ИОННОМ ТРАВЛЕНИИ // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, [2024]. URL: https://kmu.itmo.ru/digests/article/13621