В настоящей работе представлены результаты металлизации отверстий методом лазерно-индуцированного осаждения меди из глубоких эвтектических растворителей. Была показана возможность металлизации отверстий диаметром 0,5; 0,8; 1 и 2 мм. Была показана карта режимов лазерного воздействия и схема обработки для отверстий каждого диаметра. Полученные структуры обладают сопротивлением не более 100 Ом и адгезией к подложке не менее 3 баллов по ГОСТ 31149-2014. Выводы о характеристиках полученных структур были сделаны на основе исследования срезов методами оптической и электронной микроскопии, а также энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии.
Елтышева Е.А. (науч. рук. Синев Д.А.) ЛАЗЕРНО-ИНДУЦИРОВАННОЕ ОСАЖДЕНИЕ МЕДИ ИЗ ГЛУБОКИХ ЭВТЕКТИЧЕСКИХ РАСТВОРИТЕЛЕЙ ДЛЯ МЕТАЛЛИЗАЦИИ ОТВЕРСТИЙ // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, [2024]. URL: https://kmu.itmo.ru/digests/article/13597