Существует ряд методов для измерения внутренних напряжений в тонких пленках, однако большинство из них требуют контактного воздействия на образец, что может приводить к его повреждению или деформации. Поэтому разработка бесконтактного прибора для определения внутренних напряжений в тонких пленках представляет большой научно-технический интерес. В основе бесконтактного метода лежит оптический принцип, основанный на измерении изменения оптических характеристик пленки, связанных с ней напряжений.
Шулепов Д.А. (науч. рук. Бахолдин А.В.) Анализ методов бесконтактного неразрушающего контроля покрытий тантала и меди // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, [2024]. URL: https://kmu.itmo.ru/digests/article/13287