В настоящей работе исследуется метод ЛИМП при изготовлении ФОЭ на плавленом кварце с целью определения возможности увеличения воспроизводимости результатов травления посредством получения минимального отклонения по глубине травления, а также достижения конкретных глубин травления, обеспечивающих сдвиг фаз в π радиан на длине волны 1,064 мкм. На основе ранее проведённых исследований метода ЛИМП, в которых в качестве мишени использовался пористый графит, характеризуемый неоднородной структурой, проявляющейся в наличии пористых областей с размерами, соизмеримыми с диаметром лазерного пучка на поверхности мишени, что предположительно является основным фактором, влияющим на качество записи, в настоящей работе будет использоваться пиролитический графит, плотность которого составляет ≈2,0 г/см^3
Сеннов А.А., Шкуратова В.А., Петров А.А., Нестеров Н.А. (науч. рук. Костюк Г.К.) Определение возможности увеличения воспроизводимости результатов травления элементарных ячеек на плавленом кварце методом ЛИМП вариацией количества импульсов, приходящихся в область обработки // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, [2024]. URL: https://kmu.itmo.ru/digests/article/12422